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半导体温控设备Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。
半导体温控设备chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。
产品分为：
1.单通道系列
2.双通道系列
3.三通道系统
产品细节：
半导体温控设备chiller参数说明：
| 名称 | 参数 | 名称 | 参数 | 名称 | 参数 | |
| 1 | 单通道系列 | -20℃~+80℃ | 双通道系列 | -45℃~+40℃ | 三通道系列 | -20℃~+50℃ |
| 2 | 温度范围 | ±0.1℃ | 温度范围 | ±0.2℃ | 温度范围 | ±0.1℃ |
| 3 | 精度 | 2kw@-10℃ | 精度 | 11kw@-20℃/5kw@-40℃ | 精度 | 15kw@-10℃ |
| 4 | 冷却能力 | 3kw | 冷却能力 | 2kw | 冷却能力 | 2kw |
| 5 | 加热能力 | 20LPM@0.6MPa | 加热能力 | 17LPM@0.6MPa | 加热能力 | 30LPM@0.85MPa |
| 6 | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" |
| 7 | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C |
| 8 | 温度范围 | 15LPM | 温度范围 | 30LPM | 温度范围 | 30LPM |
| 9 | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc3/4"*2 |
| 10 | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa |
| 11 | 进口压力 | / | 进口压力 | / | 进口压力 | / |
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